氦气检漏设备主要技术指标
实际使用氦气检漏设备时,其较小可检出泄漏率为5×10-13Pa·m3 / s; 泄漏率显示范围为1×10-3—1×10-13Pa·m3 / s。; 启动时间保持在小于等于3min的范围内; 响应时间小于或等于1。0s; 检漏口较大压力:1000Pa; 电源需要220v,50Hz,单相,10A。
使用氦气检漏设备时,请注意其机械泵的抽速为4L / S; 工作环境要求为5-40℃; 应注意相对湿度必须小于或等于80%; 尺寸:600(W)×550(D)×1000(H); 通常重量将保持在65kg。 关于氦气检漏设备,应注意其配备了标准氦气检漏装置,包括更详细的校准报告。
用氦气作为氦质谱检漏气体的原因
1、氦在空气中及真空系统残余气体中的含量(在空气中约含5.2ppm), 在材料出气中也很少,因此本底压力小,输出的本底电流也小。正因为本底小,由某些原因引起本底的波动,亦即本底噪声也
就小,因此微小漏率也就能反应出来,灵敏度高。
2、氦的质量小(相对分子质量为4),易于穿过漏孔。这样,氦较除氢以外的其他气体通过同-漏孔的漏率就大,容易发现,灵敏度高。
1.氦是惰性气体,不与被检件器壁起化学反应,不会污染被检件.使用安全。
2、在氮两侧的是氢(质荷比为2)和双电荷原子碳(质荷比为6),质荷比都与氮相差较大。这样,它们在分析器中的偏转半径相差也大,容易分开,定标找氨峰时,不易受其他离子的干扰,因此就降低易于加工。同时,分析器出口电极及离子源加速极的隙缝也可以加大,使更多的氦离子通过,提高了仪器灵敏度。